高頻加速度傳感器工作原理會根據主體與慣性質體相對移動的檢測方式的不同而有所差異。電容式傳感器，主體與慣性質體是相互絕緣的，通過測量電容來檢測加速度。當主體與慣性質體之間的距離減小時，電容就會增加，電流會向傳感器的信號處理IC流動。距離增加時，情況則會相反。傳感器可將主體的加速度轉化為電流、電荷、電壓三者之一從而進行測量。傳感器元件元件內部有多個質量塊，這些通過分散MEMS技術加工出的質量塊被晶元表面周圍的扭轉彈簧支撐著。與表面MEMS工藝相比，厚度和重量都更大，從而可以實現高靈敏度和低噪音。

　　高頻加速度傳感器測量頻率范圍:

　　是指傳感器在規定的頻率響應幅值誤差內傳感器所能測量的頻率范圍。頻率范圍的高，低限分別稱為高，低頻截至頻率。截至頻率與誤差直接相關，所允許的誤差范圍大則其頻率范圍也就寬。作為一般原則，傳感器的高頻響應取決于傳感器的機械特性，而低頻響應則由傳感器和后繼電路的綜合電參數所決定。高頻截止頻率高的傳感器必然是體積小，重量輕，反之用于低頻測量的高靈敏度傳感器相對來說則一定體積大和重量重。